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利用印刷工藝制作使用碳納米管技術(shù)問世

2009-03-11 00:00 來源：技術(shù)在線 責(zé)編：羅鵬

美國(guó)Optomec利用印刷工藝制作出了使用碳納米管（CNT）、工作頻率5GHz的晶體管新聞發(fā)布,。由美國(guó)麻省州立大學(xué)（University of Massachusetts）和美國(guó)Brewer Science共同開發(fā),。由于使用Optomec的印刷技術(shù)“Aerosol Jet”就可以形成晶體管的全部構(gòu)成要素，因此無(wú)需真空工藝和曝光工藝,。

Aerosol Jet已用于制造太陽(yáng)能電池和燃料電池等的印刷設(shè)備,。首先，將導(dǎo)電性及非導(dǎo)電性墨水或漿料制成空氣溶膠,，而后進(jìn)行液滴噴射,。

此次，利用印刷技術(shù)在Kapton板上形成通道寬200μm,、長(zhǎng)100μm的晶體管,。以5GHz頻率工作時(shí)的開關(guān)電流比大于100。半導(dǎo)體層采用密度為1000/μm<sup>2</sup>的具有微細(xì)結(jié)構(gòu)的CNT,。

麻省州立大學(xué)等發(fā)表的論文稱,，柵極和漏極的形成均采用了美國(guó)UT Dots的Ag墨水。在130℃的條件下燒結(jié)30分鐘,。

此前,，NEC曾發(fā)布過利用印刷技術(shù)制作全部構(gòu)成要素的CNT晶體管。

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