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晶體硅太陽能電池的絲網(wǎng)印刷技術(shù)詳解

2010-06-12 08:53 來源:應(yīng)用材料公司 責(zé)編:Victoria

摘要:
。這一技術(shù)采用了新型的高分辨率照相機(jī)和新的軟件算法,,具有自動(dòng)調(diào)整程序,,并可以在印刷初始階段進(jìn)行額外控制。此外,,漿料配方和絲網(wǎng)設(shè)計(jì)必須經(jīng)過仔細(xì)的共同優(yōu)化,,從而最大限度地實(shí)現(xiàn)絲網(wǎng)印刷的硬件和工藝效能。
  【CPP114】訊:生產(chǎn)晶體硅太陽能電池最關(guān)鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細(xì)的電路,,將光生電子導(dǎo)出電池。這個(gè)金屬鍍膜工藝通常由絲網(wǎng)印刷技術(shù)來完成——將含有金屬的導(dǎo)電漿料透過絲網(wǎng)網(wǎng)孔壓印在硅片上形成電路或電極,。典型的晶體硅太陽能電池從頭到尾整個(gè)生產(chǎn)工藝流程中需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟。通常,,有兩種不同的工藝分別用于電池正面(接觸線和母線)和背面(電極/鈍化和母線)的絲網(wǎng)印刷,。【表1】

表1:晶體硅太陽能電池的制造需要進(jìn)行多次絲網(wǎng)印刷步驟,。應(yīng)用材料公司Baccini產(chǎn)品可以幫助實(shí)現(xiàn)綠色框中的步驟。

  多年來,,太陽能絲網(wǎng)印刷設(shè)備在精度和自動(dòng)化方面有了很大進(jìn)步,,具備了在微米級(jí)尺寸上重復(fù)進(jìn)行多次印刷的能力,。這一發(fā)展開創(chuàng)了全新的先進(jìn)應(yīng)用,,如雙重印刷和選擇性發(fā)射極金屬鍍膜。Baccini公司在20世紀(jì)70年代在微電子領(lǐng)域開發(fā)了絲網(wǎng)印刷技術(shù),,并在20世紀(jì)80年代將這一技術(shù)擴(kuò)展到太陽能金屬鍍膜領(lǐng)域,。今天,,Baccini公司已成為應(yīng)用材料公司Baccini集團(tuán),以多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)引領(lǐng)業(yè)界的發(fā)展,。

  基本的太陽能絲網(wǎng)印刷

  印刷過程從硅片放置到印刷臺(tái)上開始,。非常精細(xì)的印刷絲網(wǎng)固定在網(wǎng)框上,放置在硅片上方,;絲網(wǎng)封閉了某些區(qū)域而其它區(qū)域保持開放,,以便導(dǎo)電漿料能夠通過【圖2】,。硅片和絲網(wǎng)的距離要嚴(yán)格地控制(稱為印刷間隙),。由于正面需要更加纖細(xì)的金屬線,因此用于正面印刷的絲網(wǎng)其網(wǎng)格通常比用于背面印刷的要細(xì)小得多,。

表2:印刷絲網(wǎng)上包含打開和閉合的區(qū)域,,通過打開的區(qū)域,導(dǎo)電漿料可以被印刷到硅片上,。

  把適量的漿料放置于絲網(wǎng)之上,用刮刀涂抹漿料,,使其均勻填充于網(wǎng)孔之中,。刮刀在移動(dòng)的過程中把漿料通過絲網(wǎng)網(wǎng)孔擠壓到硅片上【圖3】。這一過程的溫度,,壓力,,速度和其他變量都必須嚴(yán)格控制。

表3:在絲網(wǎng)一端放置導(dǎo)電漿料,用刮刀在將漿料涂抹于絲網(wǎng),,并從網(wǎng)孔中擠壓到硅片上,。

  每次印刷步驟后,硅片被放入烘干爐,,使導(dǎo)電漿料凝固,。接著,,硅片被送入另一個(gè)不同的印刷機(jī),,在其正面或背面印制更多的線路。所有印刷步驟完成后,,將硅片放入高溫爐里燒結(jié),。

  硅片正面和背面的印刷

  每塊太陽能電池的正面和背面都有通過絲網(wǎng)印刷淀積的導(dǎo)線【圖4】,,它們的功能是不同的。正面的線路比背面的更細(xì),;有些制造商會(huì)先印刷背面的導(dǎo)電線,,然后將硅片翻過來再印刷正面的線路,從而最大程度地降低在加工過程中可能產(chǎn)生的損壞,。在正面(面向太陽的一面),大多數(shù)晶體硅太陽能電池的設(shè)計(jì)都采用非常精細(xì)的電路(“手指線”)把有效區(qū)域采集到的光生電子傳遞到更大的采集導(dǎo)線——“母線”上,,接著再傳遞到組件的電路系統(tǒng)中,。正面的手指線要比背面的線路細(xì)得多(窄到80μm)。正因?yàn)槿绱�,,正面的印刷步驟需要更高的精度和準(zhǔn)確性。

圖4:印刷后硅片正面會(huì)有大小不同的導(dǎo)線,,用來從有效區(qū)域采集電能,。.
 
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