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理光開(kāi)發(fā)出無(wú)鉛高性能壓電和電極材料

2012-07-14 09:29 來(lái)源:技術(shù)在線 責(zé)編:王岑

摘要:
理光宣布,,開(kāi)發(fā)出了極化特性可與鋯鈦酸鉛(PbZrO3-PbTiO3:PZT)相媲美的無(wú)鉛(Pb)壓電材料和以溶膠-凝膠法使高品質(zhì)結(jié)晶在Si基板上與電極一同形成的技術(shù)。
  【CPP114】訊:理光宣布,開(kāi)發(fā)出了極化特性可與鋯鈦酸鉛(PbZrO3-PbTiO3:PZT)相媲美的無(wú)鉛(Pb)壓電材料和以溶膠-凝膠法使高品質(zhì)結(jié)晶在Si基板上與電極一同形成的技術(shù)。

  PZT是致動(dòng)器等很多壓電元件采用的材料。但因要使用Pb,,因此很多廠家都致力于開(kāi)發(fā)不使用Pb的替代材料。此次理光開(kāi)發(fā)的“BaTiO3-BaSnO3:BSnT”是在鈦酸鋇(BaTiO3)中添加一定量的錫(Sn)制成的,。BaTiO3作為最有望代替PZT的材料其研究很盛行,。理光稱在BaTiO3中添加Sn,是在調(diào)查PZT的結(jié)構(gòu)中得到的啟發(fā),。

  眾所周知,PZT表示出高極化特性,,是在PbZrO3與PbTiO3的混合比例達(dá)到“準(zhǔn)同型相界(MPB)”構(gòu)成之時(shí)。MPB是材料中混合有多種結(jié)晶結(jié)構(gòu)的狀態(tài),。不過(guò),,目前尚未弄清為何在MPB狀態(tài)下極化特性高。對(duì)此,,存在因材料應(yīng)力而發(fā)生形變時(shí),,應(yīng)力的方向依賴性難以表現(xiàn)出來(lái)的假說(shuō)。

  已有在BaTiO3基礎(chǔ)上添加各種材料,,以再現(xiàn)無(wú)鉛MPB構(gòu)成的嘗試,。此次,,理光選擇Sn作為添加材料,,結(jié)果發(fā)現(xiàn)極化特性與PZT相當(dāng),。

  BSnT如果不在1000℃或更高的溫度下煅燒,就無(wú)法得到粒徑足夠大的結(jié)晶,。但是,,電極材料大多不耐1000℃的高溫,,會(huì)在電極層上出現(xiàn)孔而出現(xiàn)較大的凹凸。對(duì)此,,理光開(kāi)發(fā)出了金屬類能耐1000℃高溫的下部電極材料,。材料成分尚未公開(kāi),不過(guò)該公司稱,,即使在1000℃下煅燒60分鐘,,電極也未出現(xiàn)小孔,表面形狀依然平坦,。

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