英國(guó)消息,，2008年01月16日，英國(guó)威格斯公司(Victrex plc)宣布,，基于VICTREX®PEEK®聚合材料的VICOTE涂料已被光電,、半導(dǎo)體設(shè)備制造商擎邦國(guó)際科技工程股份有限公司(King Polytechnic Engineering Co., Ltd)所采用，被應(yīng)用于制造2", 8", 12", 甚至更大的晶圓以及LCD面板的中大型旋轉(zhuǎn)噴涂/浸漬噴涂(SPIN/DIP)設(shè)備系列上,。VICOTE 804 BLK憑借其優(yōu)異耐化學(xué)腐蝕性,、耐高溫性與絕佳的附著力，成功地取代了原有的PTFE涂層,。VICOTE涂料可減少涂布機(jī)在顯影,、蝕刻與去光阻制造過(guò)程中所產(chǎn)生的發(fā)塵量。這不但可延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命,，減少設(shè)備維修,，更可大幅提升晶圓與LCD面板的生產(chǎn)效率與成品率。

在半導(dǎo)體或LCD制造過(guò)程中,，光刻(photolithography)是最關(guān)鍵也是最困難的步驟,。光阻劑、蝕刻液與顯影液需透過(guò)旋轉(zhuǎn)噴涂/浸漬噴涂方式,，才可以在晶圓與玻璃基板面板上完成制造(fabrication),。面對(duì)強(qiáng)酸堿化學(xué)物質(zhì)與高溫等極為嚴(yán)苛的制造環(huán)境，設(shè)備的穩(wěn)定與均勻性直接影響晶圓與LCD面板的成品率,。

擎邦無(wú)塵室事業(yè)部廠長(zhǎng)黃可強(qiáng)表示：“從終端用戶的角度出發(fā),，采用VICOTE涂料可減少設(shè)備維修與停工時(shí)間，進(jìn)而提升晶圓與LCD面板的生產(chǎn)效率與成品率,。之前所采用的PTFE在顯影,、蝕刻與去光阻制造過(guò)程中，經(jīng)冷熱循環(huán),、受強(qiáng)酸堿化學(xué)物質(zhì)以及高溫環(huán)境所影響,，PTFE涂層容易掉落，從而導(dǎo)致頻繁維修旋轉(zhuǎn)噴涂設(shè)備,。但自從采用VICOTE涂料后,，至今都還沒接到維修需求。目前用于制造8”以上晶圓與LCD面板的中大型旋轉(zhuǎn)噴涂/浸漬噴涂涂布機(jī)系列都已采用VICOTE804 BLK涂料,。”

威格斯臺(tái)灣區(qū)經(jīng)理李自立指出：“隨著半導(dǎo)體工業(yè)向更大晶圓尺寸,、更高密度、更嚴(yán)苛的化學(xué)以及高溫加工生產(chǎn)環(huán)境發(fā)展,，引進(jìn)先進(jìn)的材料和加工技術(shù)已成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵,。VICOTE涂料兼具出色的耐磨性與極佳的基材附著力及耐化學(xué)腐蝕性，可大幅度減少顆粒產(chǎn)生量,，并能承受大部分的化學(xué)物質(zhì)侵蝕,。制造設(shè)備的關(guān)鍵性零件通過(guò)采用VICOTE涂料，可延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命與減少設(shè)備維修需求,。通過(guò)不同的產(chǎn)品供應(yīng)形式(粉末涂料與分散液涂料),，可為終端用戶提供靈活且符合經(jīng)濟(jì)效益的應(yīng)用模式。這次與擎邦的合作也進(jìn)一步證明VICTREX PEEK是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最理想的材料選擇,。”

VICOTE涂料是基于VICTREX PEEK 聚合材料的新型涂料,，分為粉末與分散液涂料兩種，提供優(yōu)異的抗刮傷,、耐磨性,、耐高溫、高強(qiáng)度和耐久性,。環(huán)保的VICOTE涂料的研發(fā)成功填補(bǔ)了當(dāng)今涂料技術(shù)領(lǐng)域在性能上的不足,。無(wú)論是用于工業(yè)、汽車,、食品加工,、半導(dǎo)體、電子或者醫(yī)藥領(lǐng)域,，VICOTE涂料都是工程師們的理想選擇,。可幫助工程師在應(yīng)用過(guò)程中提升產(chǎn)品的耐摩擦性,，延長(zhǎng)設(shè)備中涂裝組件的使用壽命,。VICOTE涂料可用靜電或傳統(tǒng)的分散液技術(shù)進(jìn)行涂裝。